质谱校准标准气体压力和组分精确控制影响度分析

摘要：

研究质谱校准标准气体压力和组分产生的各方面影响度,对提高发射现场标准气体的配制精度,实现新一代火箭共底泄漏监测系统精确校准、性能评价、在轨故障分析等具有重要意义.通过研究分子流进样技术、校准室容积精确测量技术、质谱计最佳工作参数设置等,实现对标准气体压力和组分的精确控制.通过分析影响质谱校准标准气体压力和组分的因素,设计了便携式标准气体产生装置.利用标准混合样品气进行氧-氮、氢-氮的校准系数时间稳定性试验.试验结果表明,质谱计多离子扫描模式比模拟峰检测模式测得的校准系数偏大.随着时间的延长,两种模式测得的校准系数均具有较好的稳定性,平衡时间约为2h.

关键词：标准气体、压力和组分精确控制、共底泄漏、校准系数、质谱校准

所属期刊栏目：29

分类号：TB774(真空技术)

资助基金：甘肃省重点研发计划-工业类项目22YF7GA054

在线出版日期：2023-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：237-242