质谱仪在空间行波管生产中的超灵敏度检漏应用

摘要：

保证极低的漏率是生产高可靠、长寿命空间行波管的必要条件.本文针对空间行波管微小漏孔常发生堵塞的问题,结合空间行波管的实际生产过程,在排气台上建立了一种超灵敏度检漏手段.通过漏率为1.8×10-8 Pa·m3/s的标准漏孔和一支漏气的空间行波管对检漏性能和可靠性进行了测试与验证.结果表明,该系统的检漏下限为1.9×10-14 Pa·m3/s,采用动态检漏法的检漏下限为8.3×10-12 Pa·m3/s.上述超灵敏度检漏方法在生产过程中可有效地定位经烘烤后暴露出的漏孔,包括在大气环境下易堵塞的漏孔(10-10 Pa·m3/s)、材料或焊缝缺陷导致的漏孔等,为完成高可靠空间行波管的封离提供有效保障.

关键词：空间行波管、长寿命、超灵敏度检漏、四极质谱仪

所属期刊栏目：27

分类号：TB79(真空技术)

在线出版日期：2021-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：214-217