阴极电弧离子镀膜技术的进步

摘要：

阴极电弧离子镀膜技术是国内外沉积工模具硬质膜层的主要技术.在高新技术产品和高端制造业需求的推动下,阴极电弧离子镀膜技术得到了长足的进步.本文介绍了阴极电弧离子镀膜技术的原理和特点,重点分析了阴极电弧源、硬质膜层性能和工件清洗技术等方面的进展,并对未来的发展进行了展望.

关键词：阴极电弧离子镀、冷场致弧光放电、硬质膜层、弧光放电氩离子清洗技术

所属期刊栏目：26

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2020-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：87-95