预加张力对电容薄膜真空计感压膜片变形的影响

摘要：

针对电容薄膜真空计感压膜片在预加张力情况下的均布载荷-挠度特性,选择冯·卡门方程和Beams方程作为感压膜片理论模型,并结合ANSYS Workbench软件中的静力学模块进行非线性有限元仿真分析.结果表明:预加张力对感压膜片挠度的影响十分明显,膜片挠度随着预加张力的增加而下降;随着均布载荷和预加张力的增大,感压膜片挠度下降幅度减弱.同一均布载荷下,预加张力越大,其影响比例越大.当均布载荷不断增加、感压膜片挠度增大,预加张力引起的挠度变化在不断减弱,影响比例逐渐下降;感压膜片受1 Pa均布载荷发生初始变形时,13 MPa的预加张力对膜片挠度影响为93％;当均布载荷超过800 Pa时,预加张力所带来的挠度影响不到整个感压膜片挠度变化的35％;均布载荷为1000 Pa、预加张力为7 MPa时,其影响比例为17.9％.利用实际电容薄膜真空计产品对仿真结果进行了初步验证.

关键词：电容薄膜真空计、感压膜片、预加张力、挠度特性

所属期刊栏目：26

分类号：TB771(真空技术)

在线出版日期：2020-03-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：31-36