真空计动态响应特性实验研究

摘要：

在工业应用中,为精确监测生产过程,真空计在极短的时间内(1 s或更短)对压力的快速变化做出响应的能力是至关重要的.采用兰州空间技术物理研究所自主研发的快速动态真空校准装置,研究了四种电容薄膜真空计和一种皮拉尼真空计的动态响应特性.分析了真空计动态真空校准过程中的标准压力建立时间、时间常数和响应时间等参数.并验证了该装置的校准能力.研究结果表明,不同的真空计在毫秒量级上跟踪压力变化的能力有明显差别.研究为真空计实现通常使用条件下的动态真空溯源奠定了基础.

关键词：真空计量、动态真空校准、响应时间、时间常数

所属期刊栏目：26

分类号：TB772(真空技术)

资助基金：国家自然科学基金;甘肃省科技重大专项计划

在线出版日期：2020-03-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：25-30