不同流率下空心阴极内中性气体压力测试研究

摘要：

空心阴极为热电子发射电真空器件,其加热方式与空心阴极内部气体压力密切相关.以研制的LHC-5型空心阴极为研究对象,对非工作状态下的空心阴极入口气压进行了测试.实验结果表明:空心阴极入口气压随通入的气体流率的增大而增大;室温下,当通入的氙气流率不大于0.68 mg/s时,空心阴极入口气压在1000 Pa以下;当通入氙气流率为0.136 mg/s时,空心阴极入口气压约为165 Pa,对应的中性气体密度约为4.0×1022 m-3.

关键词：空心阴极、中性气体、气体压力

所属期刊栏目：25

分类号：TB77;V433(真空技术)

在线出版日期：2019-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：24-28