分流法真空漏孔校准装置不确定度的评定

摘要：

分流法校准真空漏孔是通过四极质谱计比较气体流量计分流后的实用标准气体流量与被校真空标准漏孔产生的离子流获得校准值.主要介绍了分流法真空漏孔的校准方法、装置原理,对不确定度进行了分析,从气体流量计、分流比、四极质谱计等方面对真空漏孔校准装置的不确定度进行评定,提高了校准装置校准的可靠性.

关键词：分流法、真空漏孔、校准、不确定度

所属期刊栏目：24

分类号：TB77(真空技术)

在线出版日期：2019-01-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：423-426