新型MEMS电容真空传感器的设计及其分析

摘要：

为了延伸MEMS电容式真空传感器测量范围、提高抗过载能力,设计了一种新型岛状结构下电极.利用有限元方法分析该结构与传统结构真空传感器的压力-挠度、压力-电容、压力-薄膜应力关系.研究发现,与传统结构相比,新型结构真空传感器的低压灵敏度更高、线性输出性能更好、抗过载能力更强,可为MEMS电容式真空传感器研制提供参考.

关键词：MEMS、电容真空传感器、有限元、接触模型

所属期刊栏目：24

分类号：TB77(真空技术)

资助基金：国家自然科学基金重大科研仪器研制项目61627805

在线出版日期：2018-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：315-320