电极输入参量对电负性NF3等离子体电子密度的影响

摘要：

使用微波共振探针对电负性NF3容性耦合等离子体的电子密度进行测量,获得在NF3等离子体容性耦合放电状态下随上下电极功率的变化规律及电子密度的重要影响因素.实验中改变上电极和下电极功率和频率,使用微波共振探针测量NF3容性耦合等离子在1 Pa和5 Pa时的电子密度,获得电负性NF3等离子体电子密度的变化规律,了解主电源和次电源的功率和频率对其影响.结果表明,在强电负性的NF3等离子体中,次功率电源输入功率的提高以及射频频率的变化对电子密度影响甚微,主功率电源输入功率的改变对NF3等离子体密度变化起决定性作用.

关键词：NF3等离子体、微波共振探针、电子密度

所属期刊栏目：24

分类号：O539(等离子体物理学)

在线出版日期：2018-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：127-132