新型复合真空计校准技术研究

摘要：

随着真空应用产业的发展,新型复合真空计由于其具有优越的技术性能,在真空测量领域发挥着越来越重要的作用,被各大厂矿、企事业单位广泛使用.该真空计采用模块化集成设计,实验室常规的校准方法无法进行校准,通过对反磁控皮拉尼复合真空计测量原理的分析,将可变量输出的对数模拟标准电压信号转化为真空度信号,进行示值误差分析,对照国家颁布的相关校准规范,给出校准结果.此技术为复合真空计的校准提供了实验基础和理论依据,解决了该类型真空计的校准难题.

关键词：反磁控复合真空计、真空标准装置、惠斯通电桥、示值相对误差

所属期刊栏目：23

分类号：TB77(真空技术)

在线出版日期：2017-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：226-229