碳纳米管阴极电离真空计研制及其性能研究

摘要：

碳纳米管阴极电离真空计在超高/极高真空测量中具有广阔应用前景,基于碳纳米管阴极研制了测量范围10-9~10-4 Pa的电离真空计,真空规管包括了碳纳米管阴极、门极、阳极、反射极和收集极,电路控制系统由高压电源、微弱离子流测量和控制电路组成.实验研究结果表明,不锈钢衬底上直接生长制备的碳纳米管阴极性能良好,开启场强和阈值场强分别为1.9 V/μm和3.9 V/μm,当阳极电流为42μA时,碳纳米管阴极电离真空计本底干扰可降低到1.81×10-9 Pa.

关键词：真空测量、电离真空计、碳纳米管阴极、场发射

所属期刊栏目：23

分类号：TB772(真空技术)

资助基金：国家自然科学基金61601211、61671266、61471184

在线出版日期：2017-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：212-216