反应等离子沉积装置的性能研究

摘要：

反应等离子沉积方法具有离子轰击能量低、薄膜沉积时衬底温度低的特点,可应用于太阳电池、LED(OLED)等的高质量透明导电材料的制备,有利于获得高转换效率的太阳电池.对反应等离子沉积系统进行了研究,并在FLD08型RPD设备上,制备了掺钨透明氧化物IWO薄膜材料,获得了较好的结果.

关键词：反应等离子体、透明导电膜、掺钨透明氧化物

所属期刊栏目：23

分类号：V439(推进系统（发动机、推进器）)

资助基金：国家高技术研究发展计划2013AA050302;天津市科技支撑计划项目10ZCKFGX02200资助的课题

在线出版日期：2017-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：136-141