碳氧比对金刚石薄膜生长的影响

摘要：

采用微波等离子体化学气相沉积法，以H2/CH4/CO2为混合气源，通过改变气源碳氧比，探讨了碳氧比对金刚石薄膜生长的影响。利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和Raman光谱表征金刚石薄膜的表面形貌、晶粒取向和结晶质量。结果表明，随着C/O比的降低，金刚石膜表面形貌由原来的（100）面为主转向（111）面为主的金字塔形，薄膜质量有所提高，内应力降低。

关键词：微波等离子体、化学气相沉积、CO2、金刚石膜

所属期刊栏目：22

分类号：TQ164

资助基金：湖北省教育厅科学技术研究计划优秀中青年人才项目Q20151517

在线出版日期：2016-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：237-240