激光系统金属表面颗粒物检测方法研究

摘要：

金属表面颗粒污染物是影响高功率激光系统运行环境的因素之一。为了量化高功率激光系统金属结构框架在清洗后、安装时以及工作后表面的洁净度和颗粒分布状况，需要有效地采样、测试方法及采样装置。首先介绍了粘结法和负压法及其采样装置，然后开展了相关试验研究。实验表明，粘结法、负压吸取法均可以采集到小至1μm的颗粒物，且方法操作简便，实用性强，可以满足工程的实际需要。

关键词：高功率激光系统、粒径大小及分布、质量面密度

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

资助基金：真空低温技术与物理重点实验室基金项目9140C550211120C5501

在线出版日期：2015-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：86-91