超纳米金刚石薄膜的性能和制备及应用

摘要：

超纳米金刚石具有优异的物理和化学性质，化学气相沉积法制备超纳米金刚石膜近年来引起了该领域相关研究人员的极大关注。文章对超纳米金刚石与其他CVD金刚石的性质进行了对比，对超纳米金刚石的生长机理进行了简要概述，着重分析了各种化学气相沉积技术制备超纳米金刚石的基本原理、特点及取得的研究成果，最后详细讨论了超纳米金刚石的应用和今后研究方向。

关键词：超纳米金刚石、性质、制备、应用

分类号：O539;O484.4(等离子体物理学)

资助基金：国家自然科学基金项目11175137

在线出版日期：2014-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：125-131,174