材料在真空环境下放气的测试技术研究

摘要：

在真空材料放气率测试装置上对金属材料的放气特性进行了实验研究,实验采用的方法为静态升压法、固定流导法、双通道气路转换法。实验结果表明,测试装置的极限真空度为9.2×10-9 Pa,铜、铝合金2A12、304不锈钢三种材料半小时后的放气率分别为2.34×10-8 Pa · m3· s-1· cm-2、1.83×10-9 Pa · m3· s-1· cm-2、8.48×10-11 Pa·m3·s-1·cm-2。利用四极质谱计测得装置的本底气体成分主要有H2、N2/CO、H2 O和CO2,材料放出的气体成分主要有N2/CO、H2 O。三种方法测试得到的铜金属材料的放气率随着温度的升高而不断增大。

关键词：材料放气率、双通道气路转换法、固定流导法、静态升压法

分类号：TB771(真空技术)

在线出版日期：2014-03-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：46-51