现场真空校准装置的设计

摘要：

基于客户提出的在工作现场对真空计进行校准的切实需求,研究并设计了现场真空校准装置.该装置主要由供气和进样模块、抽气模块、压力衰减模块、压力测量与校准模块、烘烤模块等五部分组成.考虑到现场环境对真空计的影响和校准装置易于携带、小型化的要求,设计中采用了模块化分体式结构,复合了静态比较法、动态比较法和压力衰减法等真空校准方法.可根据不同的校准需求,选配不同的模块和方法实现对真空计的校准.现场真空校准装置预计达到的技术指标是,校准范围为10-4～ 105Pa,合成标准不确定度小于7％.

关键词：真空计量学、校准装置、校准方法、真空计、现场

所属期刊栏目：17

分类号：TB77(真空技术)

在线出版日期：2012-02-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：166-169