LiNbO3压电薄膜的研究进展

摘要：

LiNbO3因其优异的压电性能和声表面波特性而被广泛应用于声表面波器件中.对LiNbO3的声表面波特性及薄膜制备技术进行了综述,并着重介绍了LiNbO3/蓝宝石及LiNbO3/金刚石多层结构的制备、声表面波特性的理论研究及压电薄膜研究进展.

关键词：LiNbO3、压电薄膜、声表面波

所属期刊栏目：16

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金50702051;硅材料国家重点实验室开放课题SKL2008-4;河南省教育厅自然科学研究计划2008C140001

在线出版日期：2010-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：55-60