真空校准室内分子流场分布的理论分析与计算

摘要：

在动态流量校准系统中,气体分子流场分布非均匀性是造成被校规测量值出现偏差的原因,也是校准装置系统误差的来源.介绍校准室内分子流场分布的理论计算方法,这种方法不仅能分析分子流场分布的非均匀性,还能够直接计算被校规室内的分子密度,给出规室内分子密度与进入校准室气体流量之间的函数关系.计算时考虑了校准室的几何结构,最大限度的减小了校准室结构设计对分子流场分布带来的影响.对返流比β和有效抽速Seff的计算方法,为动态流量校准装置系统参数的蒙特卡罗模拟提供了理论依据.

关键词：动态流量法、分子流场分布、物理模型、蒙特卡罗模拟

所属期刊栏目：16

分类号：TB771(真空技术)

在线出版日期：2010-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：30-36