奥氏体不锈钢表面硬质薄膜的制备与性能研究

摘要：

用磁控溅射法在奥氏体不锈钢基片上分别制备了TiN薄膜和Al2O3薄膜,并用XRD、SEM和显微硬度等测试手段对沉积态和退火态薄膜进行表征,分析了不同工艺参数对薄膜的沉积速率、结构和性能的影响,从而得到最佳工艺参数.TiN薄膜在沉积气压为1.5 Pa,氩氮比为16:16时薄膜的硬度值最大为16.0 GPa.Al2O3薄膜在沉积气压为0.5 Pa,氩氧比为10:1时薄膜的硬度值可达25.2 GPa.

关键词：奥氏体不锈钢、磁控溅射、氮化钛薄膜、氧化铝薄膜、显微硬度

所属期刊栏目：15

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：安徽省红外与低温等离子体重点实验室2007C002107D;安徽省自然科学基金0190414182;973项目2008CB717802;国家自然科学基金60806028

在线出版日期：2010-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：227-232