小孔流导的理论计算与蒙特卡罗计算

摘要：

用理论公式与蒙特卡罗方法分别计算了动态流量校准系统和超高/极高真空校准系统中小孔流导的修正系数,比较了2种方法的计算结果.用蒙特卡罗方法计算了小孔系统的传输几率.蒙特卡罗方法计算结果的标准偏差在4.5×10-7到1.1×10-5之间.

关键词：蒙特卡罗方法、小孔流导、修正系数

所属期刊栏目：15

分类号：TB771(真空技术)

在线出版日期：2010-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：215-221