气体微流量计测量小孔流导方法研究

摘要：

介绍了利用气体微流量计的流量测量技术、采用PID和压力锯齿波动2种恒压控制模式测量小孔流导的原理和方法,并对2种控制模式的测量结果进行了比对,一致性好于0.14%.小孔流导的测量值与理论计算值之间有较大偏差,通过漏孔校准实验.证明前者具有更好的准确性.对于几何尺寸不规则的小孔,用实验方法获得其流导值具有实际应用价值.

关键词：气体微流量计、流导、测量方法

所属期刊栏目：15

分类号：TB771(真空技术)

在线出版日期：2009-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：95-98,107