10.3969/j.issn.1006-7086.2008.02.005
MEMS扭转微镜动态特性的有限元仿真分析
使用有限元方法分析了MEMS扭转微镜在真空无阻尼状态下的各项动力学特征,包括模态分析、谐响应分析、瞬态响应分析等,获得了微镜器件的模态固有频率、振型以及谐响应频率,重点研究了扭转微镜的不同部位振动状态之间的差别.
微机电系统、扭转微镜、动态特性、有限元
14
TP211(自动化技术及设备)
2008-09-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
82-85
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10.3969/j.issn.1006-7086.2008.02.005
微机电系统、扭转微镜、动态特性、有限元
14
TP211(自动化技术及设备)
2008-09-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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