关于CVD金刚石表面图形化的研究进展

摘要：

金刚石膜是一种具有巨大应用潜力的新型功能材料,但是它极高的硬度和良好的化学稳定性使其难以被加工成型,因此如何对金刚石膜表面进行精确的图形化加工是实现制造金刚石器件的关键技术问题之一.系统地介绍了金刚石表面各种图形化的技术,并且比较了它们的优缺点.

关键词：金刚石、图形化、刻蚀、等离子体

所属期刊栏目：14

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金50572075;湖北省教育厅Q20081505项目2004

在线出版日期：2008-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：63-67