离子束辅助沉积碲化铅薄膜的AFM研究

摘要：

利用原子力显微镜(AFM)研究了离子束辅助沉积碲化铅(PbTe)薄膜的微观结构和表面形貌.结果表明,传统热蒸发方法制备的碲化铅薄膜呈现出明显的柱状结构,离子束轰击可以显著改变薄膜的微观结构,导致柱状结构的逐渐消失和晶粒的长大.

关键词：原子力显微镜、离子束辅助沉积、碲化铅、薄膜

所属期刊栏目：14

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：表面工程技术国家级重点实验室基金项目9140C540102060C5401

在线出版日期：2008-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-13,22