10.3969/j.issn.1006-7086.2008.01.002
TaOx离子导电薄膜的制备与性能
采用直流反应磁控溅射方法制备Ta2O5薄膜,并研究了其制备工艺;在Amoldussen法的基础上,采用了一种新的方法对Ta2O5薄膜离子导电性能进行了测试.结果表明,制备的Ta2O5薄膜具有良好的离子导电性能.
TaOx、薄膜、离子导电性能、磁控溅射、电致变色
14
O484.4(固体物理学)
表面工程技术国家级重点实验室基金项目9140C543010704
2008-07-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
6-10