OVPD技术在OLED蒸镀装置中的应用

摘要：

将OVPD(有机气相沉积)技术应用于OLED(有机电致发光显示器件)蒸镀装置中,研制了一台实验设备,并通过实验验证了其可行性和可控性.该技术克服了常规点源蒸发所产生的有机材料利用率低、膜层均匀性差、不适合大基片镀膜等缺点,为OLED量产设备的研制奠定了基础.

关键词：有机气相沉积、有机电致发光显示器件、蒸发

所属期刊栏目：13

分类号：TB43;TN873+.3(工业通用技术与设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA303280

在线出版日期：2007-12-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：142-144,150