真空计量的需求与发展

摘要：

综述了对真空计量的需求与发展,其中包括对全压力、分压力、气体微流量、真空泵抽速、空间真空测量和特殊条件下对真空测量的需求,还包括对真空计量标准和测试设备的需求.

关键词：真空计量、真空测量、真空校准

所属期刊栏目：13

分类号：TB771(真空技术)

在线出版日期：2007-12-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：125-127