器件表面钝化层对脉冲激光等效重离子LET值的影响

摘要：

介绍了激光模拟单粒子效应实验中,脉冲激光能量等效重离子线性能量传输(LET)值的理论计算方法,分析了器件表面钝化层对脉冲激光能量和重离子LET等效性计算的影响.受SiO2钝化层的调制,进入Si衬底的脉冲激光能量只占入射到器件表面激光能量的21.6%～16.1%.如果器件表面的钝化层厚度已知,且不考虑非线性效应,就可以利用激光强度透射率函数,算出更精确的脉冲激光能量等效重离子LET值.理论计算结果与相关文献报道的重离子LET值非常接近.

关键词：脉冲激光、重离子、LET、钝化层

所属期刊栏目：13

分类号：TN241(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2007-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：102-106,101