渗氦型真空漏孔漏率的温度修正

摘要：

由于石英材料的渗透系数与温度成指数函数关系,因此渗氦型真空漏孔对温度非常敏感,在使用时需要对漏孔校准值进行温度修正.通过对一支渗氦型真空漏孔在16～40℃温度范围内的漏率校准,给出了漏率随温度变化的2种修正方法--指数修正法和线性修正法,以及2种方法的修正结果.

关键词：渗氦型真空漏孔、漏率、温度修正

所属期刊栏目：13

分类号：TB774(真空技术)

在线出版日期：2007-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：90-93,110