电子束在微/纳制造中的应用进展

摘要：

微纳加工技术推动着集成电路不断缩小器件尺寸和提高集成度,而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是最好的方法之一.介绍了近年来电子束光刻技术的研究进展及其在微/纳器件研制中的重要作用.

关键词：电子束光刻技术、原理、进展

所属期刊栏目：13

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2007-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：6-15,24