蒙特卡洛法在HIRFL-CSR钛升华泵设计中的应用

摘要：

介绍了用蒙特卡洛法计算HIRFL-CSR钛升华泵对于不同气体吸附系数在分子流条件下的吸附概率,并分析了挡板的形状、位置设置对于吸附概率的影响.通过实验测试,发现HIRFL-CSR钛升华泵对H2的抽速与计算值接近,证明用蒙特卡洛法模拟计算、设计钛升华泵是可行的.

关键词：蒙特卡洛法、钛升华泵、挡板、抽速

所属期刊栏目：10

分类号：TB752+.51;TB71+6(真空技术)

在线出版日期：2005-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：176-178,181