WC-Co硬质合金基体上金刚石薄膜的附着机理研究

摘要：

金刚石涂层在硬质合金(WC-Co)基体上的附着力,是影响金刚石涂层刀具切削性能和使用寿命的关键因素.采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)法在经酸浸蚀脱Co的硬质合金基体上生长金刚石薄膜.通过对金刚石膜/基界面的微观形貌和成分分析,初步认识了金刚石薄膜的附着机理:机械锁合作用对金刚石膜/基附着力有较大贡献;界面热应力和弱中间相的存在是导致金刚石膜自发剥离的主要原因.

关键词：金刚石膜、硬质合金、附着力、附着机理

所属期刊栏目：10

分类号：TB43;TG135(工业通用技术与设备)

资助基金：河南省科技攻关项目991110130

在线出版日期：2004-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：39-42