热阴极与冷阴极电离规计量学特性比较研究

摘要：

介绍了3个热阴极电离规和2个反磁控型冷阴极电离规的计量学特性实验研究结果.实验设备是一台高真空基础标准,实验范围为10-7～10-3Pa,实验气体为N2、Ar、He和H2.在连续72 h观测中,热阴极电离规在N2、Ar和He中的稳定性优于反磁控规,但在H2中则所有规的稳定性相似.在6个月的重复校准中,所有规在N2、Ar和He中的长期稳定性相似,但在H2中反磁控规的长期稳定性优于热阴极电离规.对于不同的气体,反磁控规的非连续性出现在不同的压力点.在很宽的压力范围内,热阴极电离规的相对灵敏度变化较小,但反磁控规的相对灵敏度随压力变化较大.反磁控规的放电时间随压力、气体和真空系统中电离源的不同而变化.反磁控规的出气率比热阴极电离规小得多,而抽速与一个具有10 mA发射电流的热阴极电离规相当.对一些影响实验规计量学特性的原因进行了讨论.

关键词：热阴极电离规、冷阴极电离规、计量学特性、校准

所属期刊栏目：9

分类号：TB771;TN107(真空技术)

在线出版日期：2004-09-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：85-92,123