10.3969/j.issn.1006-7086.2003.01.001
微机电系统的加工技术及其研究进展
简要介绍微机电系统中的微机械加工技术,主要包括硅表面微加工技术、硅体微加工技术、光刻及电铸和复制技术(LIGA)、准LIGA技术和快速成型技术等,并综述了这些技术的研究进展情况.
微机电系统、微机械加工技术、微机械
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TP271+.4(自动化技术及设备)
2004-08-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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10.3969/j.issn.1006-7086.2003.01.001
微机电系统、微机械加工技术、微机械
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TP271+.4(自动化技术及设备)
2004-08-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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