薄膜厚度对Ag-MgF2金属陶瓷薄膜内应力的影响

摘要：

用电子薄膜应力分布测试仪测量了薄膜厚度对Ag-MgF2金属陶瓷薄膜内应力的影响,结果表明:薄膜厚度在130 nm、φ20.4 mm选区内的薄膜平均应力最小,应力分布比较均匀,应力为压应力.XRD分析表明,当薄膜厚度在70～400 nm范围内,Ag-MgF2薄膜中的Ag的晶格常数变化比较大,说明Ag晶粒结构对薄膜结构的影响较大,从而对薄膜内应力的影响也较大.

关键词：Ag-MgF2金属陶瓷薄膜、应力、厚度、微结构

所属期刊栏目：8

分类号：O484.2(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金59972001

在线出版日期：2004-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：177-182