10.3969/j.issn.1006-7086.2002.02.006
CVD金刚石膜生长过程的Raman分析
采用激光Raman散射分析法对CVD金刚石膜的生长过程进行研究,讨论在金刚石膜生长的不同阶段,膜内金刚石和非金刚石成分的相对含量及其残余应力的变化情况.
金刚石膜、Raman散射、非晶碳
8
O484.5(固体物理学)
河南省科技发展计划991110130
2004-08-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
90-92
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10.3969/j.issn.1006-7086.2002.02.006
金刚石膜、Raman散射、非晶碳
8
O484.5(固体物理学)
河南省科技发展计划991110130
2004-08-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
90-92
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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