常温下合成金刚石薄膜

摘要：

采用射频辉光放电的方法在含CH的混合气体的常温条件下制备了含碳的薄膜,通过Raman、XRD和SEM分析,检验了薄膜的性质,表明此膜含有大量的碳的SP3键的金刚石成分,其晶粒为10～100 nm,属于纳米金刚石膜.此膜已在玻璃镜片、塑料和磁盘等商品的保护方面获得了广泛的应用.

关键词：金刚石薄膜、辉光放电、纳米

所属期刊栏目：8

分类号：O484.1(固体物理学)

在线出版日期：2004-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：88-89