磁控溅射MoS2/Sb2O3复合膜的润滑失效分析

摘要：

磁控溅射法制备了MoS2/Sb2O3固体润滑复合膜,用CSEM摩擦试验机、CSEM纳米划痕仪和PHI-5702XPS/AES多功能电子能谱仪,考察了其摩擦磨损性能、抗损伤性能和抗氧化性能,侧重分析了薄膜失效的原因,探讨了该固体润滑复合膜润滑失效的微观机理.

关键词：磁控溅射、MoS2/Sb2O3固体润滑复合膜、失效分析

所属期刊栏目：8

分类号：TN305.92;O484(半导体技术)

在线出版日期：2004-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：77-82