10.3969/j.issn.1006-7086.2001.02.015
环境扫描电子显微镜中真空系统特点及成像信号分析
环境扫描电子显微镜(ESEM)是针对常规扫描电子显微镜(SEM)在使用过程中暴露出来的一些重大缺陷而设计的.它淘汰了SEM中繁琐、复杂的样品准备工作,扩大了仪器的使用范围,并使图像更清晰.着重介绍了ESEM的工作原理、与此有关的真空系统构成及成像信号分析.
环境扫描电子显微镜、扫描电子显微镜、成像信号
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TN16(真空电子技术)
2005-01-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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