一种新型组合谐振腔微波等离子体炬

摘要：

微波等离子体电子密度大,电子温度高,在材料合成、有害气体消解、光谱分析等领域有着广泛的应用前景.本文提出了一种新型的组合谐振腔微波等离子体炬,利用一个微波源通过功分器后分别激励两个不同的谐振腔,微波馈入谐振腔后,在谐振腔内产生驻波,在驻波波腹处电场强度最大完成等离子体的激发,实现在较小微波输入功率、大气压下的空气击穿并形成大体积的等离子体火焰.通过对谐振腔结构尺寸优化,使谐振腔内的电场强度达到激励和维持微波等离子体的要求.

关键词：微波等离子体、谐振腔、空气击穿、电磁仿真、多物理场

分类号：TN136(真空电子技术)

在线出版日期：2023-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：21-25