基于带状线的新型八通道微波等离子体射流装置

摘要：

相比于直流、交流和射频等离子体,微波等离子体具有无需电极、电子密度大、电子温度高和能量效率高等优势,广泛应用于材料表面改性、污水处理、废气处理、污染物降解等众多领域.传统的零维和一维等离子体射流都不能用于处理大面积,而能处理大面积的等离子体射流装置体积又较大.因此,本文设计了一种基于带状线,用于处理大面积的小型八通道等离子体射流装置,利用电磁理论、DRUDE模型和有限元算法计算了所设计器件的尺寸,并搭建了一个实验系统,在入射微波功率为95 W时,仅检测到9 W的反射功率,与仿真结果吻合较好.

关键词：微波等离子体、小型、处理大面积、带状线

分类号：TM925.54

在线出版日期：2022-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：92-96