一种基于矩形压缩波导的5.8 GHz微波等离子体激发装置

摘要：

微波放电产生的等离子体具有高效率、高电离度、易于控制等优点,在工业界引起了广泛关注.本文提出了基于BJ58矩形终端压缩波导的结构来设计一款工作频率为5.8 GHz的微波等离子体激发装置,并利用有限元法对该装置进行了仿真优化,实验表明所设计的装置只需30 W微波功率即可激发8 L/min的氩气产生线形等离子体,验证了该微波等离子体源的可行性.

关键词：微波等离子体、5.8 GHz压缩波导、有限元法

分类号：TN12(真空电子技术)

在线出版日期：2022-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：82-85,106