基于碳纳米管的片上微型热发射电子源

摘要：

纳米科技的飞速发展和半导体微加工技术的日益成熟使热电子发射源的微型化、片上化、集成化成为可能.本文回顾总结了近年来基于碳纳米管材料制备片上微型热发射电子源的研究工作,包括碳纳米管侧壁热电子发射的机制研究、基于碳纳米管的微型热发射电子源器件阵列的片上集成与批量制备以及微型热发射电子源器件栅电极的单片集成.基于碳纳米管材料的片上微型热发射电子源具有低工作电压、高发射电流密度、高稳定性与可重复性、较低的真空度要求、高均匀性与高集成度等优点,是实用的微型电子源器件的一种可选途径.

关键词：微型电子源、片上电子源、热电子发射、碳纳米管

分类号：TN43(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家重点研发计划项目2019YFA0210201

在线出版日期：2021-03-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

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