高导热氮化硅陶瓷的快速制备和性能控制

摘要：

氮化硅陶瓷力学性能优异,理论热导率高,是大功率电力电子器件的关键热管理材料.但是,高导热氮化硅陶瓷烧结温度高、保温时间长,因此制备成本居高不下,对于产业化应用不利.本研究提出了一种快速制备高导热氮化硅陶瓷的方案.以Y2O3-MgO-C作为烧结助剂,以高纯硅粉作为起始原料,通过流延成型和硅粉氮化制备素坯,在1900℃、0.6 MPa保温2h制备出高导热氮化硅陶瓷.研究了C的添加量对于氮化硅陶瓷的致密化、晶相、微结构、力学性能以及热导率的影响规律.最终制备的氮化硅陶瓷密度可以达到99％以上,热导率达到98W/m·K.

关键词：氮化硅基片、流延成型、硅粉氮化、无压烧结

分类号：TQ174.1

资助基金：科技部重点研发计划项目;国家自然科学基金项目;上海市科学技术委员会项目;中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷与超微结构国家重点实验室项目

在线出版日期：2020-04-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：37-40,47