氮化铝陶瓷的氧化机理研究

摘要：

本文研究了不同氧化处理下氮化铝陶瓷的氧化情况,并使用Mo-Mn法进行金属化,测试封接强度及气密性,从而探究氮化铝瓷的氧化机制,氮化铝基瓷与氧化层之间的结合.结果 表明:经过1100℃/1h高温氧化处理,氮化铝陶瓷表面几乎没有氧化.在1250℃/1 h、1250℃/2 h,表面生成了氧化铝,氧化层主晶相为AlN与Al2O3;在1 350℃/1 h下,氧化层主晶相为Al2O3;氧化层表面有明显的裂纹,均漏气.对不同处理后的氧化铝层表面进行Mo-Mn法金属化,当氧化层厚度较薄时,断裂发生在氧化层.氮化铝瓷与氧化铝层之间的结合机理可能是在两者之间产生了AlON等中间物,从而实现了氮化铝瓷与氧化层之间牢固的连接.

关键词：氮化铝陶瓷、氧化、金属化

分类号：TB756(真空技术)

资助基金：四川省科技计划资助项目项目编号:2018GZ0150

在线出版日期：2020-04-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：26-31