一种分子泵除气系统断电保护及高真空保持技术

摘要：

分子泵除气系统出现异常断电的情况下,系统内部出气无法排出,同时外部大气进入真空系统,可能损坏分子泵、破坏系统真空状态,对以分子泵为主除气泵的真空物理实验造成不可预估的损失.为了消除实验过程中可能出现的这种隐患,通过在除气系统中设置合适的容气腔和高灵敏度、密封可靠的电磁阀,形成一种分子泵除气系统保护结构.应用该结构的分子泵除气系统实验结果表明:真空机组断电时间超过20 min,分子泵仍可维持怠速除气状态,真空腔保持真空度在1×10-2 Pa以上,不影响物理实验真空性能.分子泵除气系统异常断电后较长时间的系统保护和高真空保持,可为采取补救措施,避免重大损失提供宝贵机会.

关键词：分子泵、怠速除气、高真空保持

分类号：TB751(真空技术)

资助基金：中国工程物理研究院专项课题902-301

在线出版日期：2019-12-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：47-52