AlN陶瓷Mo-Mn法金属化的机理研究

摘要：

本文先将氮化铝陶瓷氧化,然后在氧化层上采用Mo-Mn法对氮化铝陶瓷进行金属化,通过对氮化铝陶瓷、氧化层、金属化层的显微结构、成分变化、元素的分布情况来探讨金属化的烧结过程,分析氮化铝陶瓷的Mo-Mn法金属化机理.实验结果表明使用Mo-Mn法可以实现牢固的金属化,其强度达到62 MPa;其机理是氮化铝陶瓷表面的氧化层中的Al2 O3在金属化过程中Al2 O3溶解到金属化层中形成玻璃相,同时金属化层中的氧化物向氧化层中迁移扩散,实现氮化铝陶瓷氧化层-金属化层的结合.

关键词：Mo-Mn法、氮化铝陶瓷、金属化层、氧化

分类号：TB756(真空技术)

资助基金：四川省科技计划资助项目2018GZ0150

在线出版日期：2019-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：60-64,77