小型真空探测器动静态真空监测的实现

摘要：

为解决小型真空探测器体积小、内部空间有限、常规真空监测装置无法安装在探测器上进行直接测量的问题,设计一种外置动静态真空测试系统,并建立外置测试系统测量数据与小型真空探测器腔体内真空度的可靠关系.测试实例验证表明:本工作建立的外置动静态真空测试系统,按设计方式推算的探测器动静态真空度值与实际测量值的差异不到10％,可以较好地实现小型真空探测器的动态真空测试和静态真空监测.

关键词：小型真空探测器、外置动静态真空测试系统、动态真空、静态真空

分类号：TB751(真空技术)

资助基金：中国工程物理研究院专项课题902-301

在线出版日期：2015-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：77-81