微波等离子体化学气相沉积超纳米晶金刚石膜研究

摘要：

超纳米晶金刚石(UNCD)在短毫米波特别是太赫兹真空器件输能窗中具有潜在的应用价值.本文介绍了UNCD膜的制备工艺和性能表征.利用微波等离子体化学气相沉积法在一种贫氢、富氩的反应气体中合成UNCD膜.扫描电子显微镜分析表明,合成的UNCD膜表面光滑平整,晶粒为纳米尺度,断面结构致密.X射线衍射分析显示,超纳米晶金刚石薄膜主要是以(220)取向为主的多晶体结构,计算得到的平均晶粒尺寸为10 nm.拉曼光谱分析呈现出典型的超纳米晶金刚石特性,膜中存在一定的sp2相.UNCD的光学透过率测试显示:在波长≥4 μm范围内,光学透过率≥60％.

关键词：太赫兹、微波真空器件、微波等离子体化学气相沉积、超纳米晶金刚石

分类号：TB75(真空技术)

在线出版日期：2014-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：62-64,71